设备：扫描电镜-能谱仪Sigma 300

厂商：德国蔡司

用途：对材料表面形貌、结构等进行显微分析，定位缺陷形状与尺寸，为器件的失效分析提供技术支持。

技术指标：

l  分辨率： 1.2nm @15 kV   2.2nm @1kV

l  放大倍数：10-1,000,000×

l  加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）

l  探针电流： 4pA-20nA （40nA&100nA可选）

l  低真空范围： 2-133Pa （Sigma 300VP可用）

l  样品室： 365 mm（φ），275mm（h）

l  样品台：5轴优中心全自动   

X=125mm

Y=125 mm

Z=50 mm

T=-10o-90o

R=360o 连续

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