设备：半导体参数测试仪、探针台B1505A、TS2000-HP

厂商：Keysight、MPI

用途：

技术指标：

l  进行宽范围的电流/电压测量：达1500A/10KV

l  精确的泄漏电流测量（亚pA能力）

l  精密的导通电阻表征（μΩ分辨率）

l  快至10μs的大功率脉冲测量

l  高压偏置下的中电流测量能力：500mA@1200V

l  进行高电压偏置的CV测量

l  最大直流偏置±3000V

l  高功率圆片探测支持，在圆片上进行＞200A和10KV的测试

l  真旋钮扫描曲线追踪仪功能

l  支持输出波形监视的示波器观察（I/V）功能

l  可溯源至国际标准的大电流/电压测量

l  可扩展的平台和体系结构，能随需求变化添加测量能力

l  提供4种测试模式：曲线测试模式、应用测试模式、传统测试模式和快速测试模式。可为用户不同的器件测试选择，以最大程度地提高测量灵活性。

l  模块化配置，有10个用于支持模块的插槽

l  多频电容测量单元（MFCMU），频率范围1KHZ至MHZ

l  适用于封装测试和晶圆测试的标准附件：测试夹块选择器具，模和高压偏置三通

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