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0769-88030227
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设备：台阶仪Dektak XT
厂商：美国Bruke
用途：通过该测试，可以得到探针移动路径上样品的表面起伏数据，从而分析出样品的表面粗糙度、翘曲程度等信息。
技术指标：
l 扫描长度： 50µm-55mm
l 垂直测量范围： 1mm
l 台阶高度重现性5Å, 1σ 在1µm台阶上
l 垂直分辨率：最大1Å（6.5µm范围）
l 探针曲率半径：0.2 um ，2um
样品台尺寸：4英寸，6英寸，8英寸
地址：广东省东莞市松山湖国家高新区总部一号12栋5楼
电话：0769-33882377
邮箱：nfjc@jslmnr.com
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