设备：光学缺陷分析设备Candela CS920/ SICA 88

厂商：美国 KLA-Tencor Corporation/日本 Lasertec Corporation

用途：SiC/GaN/Si基板和外延（epi）晶圆表面缺陷检测系统，可同时测量散射强度、形状变化、表面反射率和相位转移，为特征缺陷（DOI）进行自动侦测与分类。

技术指标：

l  检测缺陷尺寸>0.1μm

l  最大样品尺寸：6inch Wafer

l  超过30种DOI的缺陷分类

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