设备：膜厚仪F50-XT/ F50-UV

厂商：FILMETRICS

用途：依靠F50的光谱测量系统，可以很简单快速地获得最大直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台，可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度。

技术指标:

l  最大适用4英寸晶圆测试，最大测试范围0-10um

l  测量n和k值最小厚度要求：50nm

l  波长范围：190-1100nm

l  准确度：0.2%或1nm

l  精度：0.02nm

l  稳定性:0.05nm

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